第二十六届中国国际工业博览会上，国产极紫外光源系统样机首次公开亮相，绝大多数核心零部件为自主研发，技术路线与国际领先厂商一致，可用于芯片曝光测试。
（极紫外光源）现场工作人员称距离量产还需3至5年。#芯片战争
（极紫外光源）现场工作人员称距离量产还需3至5年。#芯片战争
第二十六届中国国际工业博览会上，国产极紫外光源系统样机首次公开亮相，绝大多数核心零部件为自主研发，技术路线与国际领先厂商一致，可用于芯片曝光测试。（极紫外光源）现场工作人员称距离量产还需3至5年。#芯片战争
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